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【產品介紹】kSA MOS Ultra Scan離線薄膜應力測量系統
發表時間:2024-12-26 15:54
kSA MOS Ultra Scan離線薄膜應力測量系統:對薄膜的應力、表面曲率和翹曲進行準確的測量,還可對二維應力
Mapping成像統計分析;同時準確測量應力、曲率隨溫度變化的關系。
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