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kSA Emissometer 石墨盤發射率測量系統:采用雙傳感器設計，可在石墨盤旋轉同時進行整個石墨盤的漫反射率、鏡面反射率及發射率二維分布Mapping測量。物體的發射率與物體的表面狀態(包括物體表面溫度、表面粗糙度、面形以及表面氧化層、涂層、缺陷、殘留物、表面雜質等)有關。所以，通過對石墨盤各個點發射率的測量可以直接反映出石墨盤表面肉眼難以觀測到的表面細節，同時基于黑體輻射原理進一步評估石

kSA 400 RHEED圖形分析系統:通過對RHEED入射電子能量的控制，用高分辨、高速CCD直接采集來自樣品對電子束的衍射圖像，并用專業軟件系統對其進行圖像處理和數據分析， 自動計算測量晶格間距、共振長度和振動強度等參數，同時通過衍射條紋的強度震蕩曲線檢測薄膜沉積速率等信息。

kSA MOS Ultra Scan離線薄膜應力測量系統：對薄膜的應力、表面曲率和翹曲進行準確的測量，還可對二維應力Mapping成像統計分析；同時準確測量應力、曲率隨溫度變化的關系。