kSA Emissometer 石墨盤發射率測量系統:采用雙傳感器設計，可在石墨盤旋轉同時進行整個石墨盤的漫反射率、鏡面反射率及發射率二維分布Mapping測量。物體的發射率與物體的表面狀態(包括物體表面溫度、表面粗糙度、面形以及表面氧化層、涂層、缺陷、殘留物、表面雜質等)有關。所以，通過對石墨盤各個點發射率的測量可以直接反映出石墨盤表面肉眼難以觀測到的表面細節，同時基于黑體輻射原理進一步評估石墨盤表面溫度的分布情況。 這對有效控制器件的質量，以及優化生長工藝有極大的幫助。
