夏克哈特曼波前傳感器（Shack-Hartmann Wavefront Sensor, SHWFS）是一種基于子光束分割的波前探測設備，其核心原理是通過微透鏡陣列將入射波前分割為大量子光束，每個子光束經微透鏡聚焦后在探測器（如 CCD、CMOS）上形成光斑；通過測量光斑相對于無畸變時的偏移量，可反推原始波前的畸變形態（基于幾何光學中 “波前斜率與光斑偏移成正比” 的關系）。這種原理使其在實時性、空間分辨率和結構穩定性上具有顯著優勢。
主要特點
壓電驅動微動平臺，裝配CCD相機
光束方向快速移動
臨近位置光束剖面/形貌分析
波前推導CCD像素級分辨
光束傳播參數分析（M2、瑞利長度、束腰直徑）
Zernike分析畸變控制
采用自我參考法
無光束相干要求
緊湊式設計，在線檢測
操作原理
技術規格
CCD相機USB3.0通訊
空間分辨率<10um
多種傳感器覆蓋光譜范圍：1100nm (NIR) to 1nm (soft x‐rays)
實時波前分析
測試依據ISO標準
光束測試軟件
測試基于ISO標準
Parameter | Standard |
Beam diameter光束直徑 | ISO 11146 |
Divergence發散 | ISO 11146 |
Beam profile光束剖面 | ISO 13694 |
Pointing 指向/ pos. Stability位置穩定性 | ISO 11670 |
M2 質量因子/ Focusability聚焦性 | ISO 11146 |
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布 | ISO 15367 |
Coherence 相干 | - |
Around 20 various camera types are supported |
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