EUV極紫外波前傳感器

波前傳感器，又稱波前探測器、波前分析儀，是用于**測量和分析光學波前的設備。通過實時測定動態入射波前的相位畸變，為波前重構及校正提供信息。

夏克 - 哈特曼波前傳感器：由微透鏡陣列和光電探測器（CCD 或 CMOS）組成。平行入射光束經微透鏡陣列，每個微透鏡將光束匯聚到 CCD 上形成聚焦點。理想平面波經微透鏡后成像位置為零點，畸變波前的聚焦成像點與零點的偏差可計算出波前的局部斜率，進而獲取波前信息。

優點：靈活性高、適應性廣、光譜范圍寬，結構緊湊，對環境擾動抗干擾能力較強，波前重建算法輕量級，可實現高速波前重建。

主要特點

        Hartmann波前傳感器（相干和非相干輻射）

        緊湊結構

        光化性能檢測

            -EUVL 等離子源

            -自由電子激光

            -HHG高次諧波束

        實時光學調整

        單個脈沖重復性：λ/116 (wrms)，for EUV (λ =13.5 nm)

技術規格

        波長范圍：<1nm~60nm（量子轉換涂層）

        視場：9mmX6.7mm（可選更大尺寸）

        動態范圍：14Bit

        Hartmann 盤：precision pinholes ?75μm, 250μm pitch

        傾角：±10°

        XY調節范圍：±10mm

        UHV兼容：CF63法蘭

Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH

(DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after

(below) adjustment of beam line optics (B. Fl?ter, K.

Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )

Spot pattern @ λ=1.5 nm

(LCLS / Stanford)

Reconstructed intensity profile

光束測試軟件

測試基于ISO標準